產品介紹：

碳化硅懸臂槳是一種基于反應燒結碳化硅工藝制造的高性能陶瓷結構件，主要用于光伏及半導體晶圓裝載系統。其核心材料為我司自主合成的碳化硅粉料，具有高純度（SiC含量＞99.9990%）、大尺寸（長度可達數米）和復雜形狀的制造能力，是晶圓熱處理、化學氣相沉積（CVD）等工藝中硅片承載與輸送的關鍵部件。遵循行業標準JB/T 139462020，確保產品在1350℃以下高溫環境中的穩定運行。

規格型號

可根據客戶圖紙制作

碳化硅懸臂槳性能特點： 

 1. 環境適應性  

耐高溫：工作溫度可達1350℃，短期耐受更高溫度，高溫下不變形，適用于LPCVD（低壓化學氣相沉積）等高溫制程。  

 抗熱震性：熱膨脹系數低（約4.5×10??/℃），可承受快速升降溫循環（如急冷急熱工況），延長設備維護周期。  

 2. 機械性能  

 高承載能力：抗彎強度＞2500MPa，晶圓裝載量顯著高于傳統材料（如石英），提升生產效率。  

 耐磨耐腐蝕：莫氏硬度達9級，耐酸堿腐蝕和顆粒沖刷，減少污染物引入，保障硅片純度。  

 3. 輕量化與長壽命  

 密度低（3.02g/cm3），減輕設備負載，使用壽命較金屬或石英材料延長35倍，降低綜合使用成本。  

 4. 高精度與穩定性  

 表面光潔度高，熱穩定性優異，支持自動化機器人精準搬運，適配半導體晶圓的高精度制程需求。

典型應用場景： 

 1. 光伏產業  

 TOPCon電池生產：在LPCVD、PECVD（等離子增強化學氣相沉積）等環節中，承載硅片完成摻雜與鈍化層沉積。  

 硅片熱處理：用于擴散爐中硅片的高溫氧化與退火工藝，提升電池轉換效率。  

 2. 半導體制造  

 晶圓加工：在半導體芯片的化學氣相沉積、刻蝕等工藝中，作為晶圓托架的核心部件，保障制程穩定性與良率。  

 3. 新能源材料制備  

 碳化硅單晶生長：用于高溫長晶爐中支撐碳化硅晶錠，耐受熔融硅腐蝕環境。  

 4. 其他工業領域  

 高溫窯爐：作為耐高溫支架，應用于陶瓷燒結、玻璃熔融等場景。